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申请号 | 201110185321.X |
申请日 | 2011.07.04 |
名称 | 单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法 |
公开(公告)号 | CN102313624A |
公开(公告)日 | 2012.01.11 |
主分类号 | G01L21/00(2006.01)I |
分案原申请号 | |
分类号 | G01L21/00(2006.01)I |
颁证日 | |
优先权 | |
申请(专利权)人 | 常州天合光能有限公司 |
地址 | 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |
发明(设计)人 | 马赟 |
国际申请 | |
国际公布 | |
进入国家日期 | |
专利代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 |
代理人 | 王凌霄 |
专利描述 |
本发明涉及单晶炉检测设备技术领域,特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法,包括真空探头和真空压力传感器,真空探头和真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口上,真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接,当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。本发明的有益效果是:加装的真空压力传感器,在设备故障,导致压力异常时及时报警,防止炉压异常造成的生产损失,杜绝炉压过高时产生的安全隐患。 |
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