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申请号 | 201110185240.X |
申请日 | 2011.07.04 |
名称 | 一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板 |
公开(公告)号 | CN102310036A |
公开(公告)日 | 2012.01.11 |
主分类号 | B05D3/00(2006.01)I |
分案原申请号 | |
分类号 | B05D3/00(2006.01)I;B05C13/02(2006.01)I;H05B3/20(2006.01)I |
颁证日 | |
优先权 | |
申请(专利权)人 | 常州天合光能有限公司 |
地址 | 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |
发明(设计)人 | 应建平;李洪洪;徐志军 |
国际申请 | |
国际公布 | |
进入国家日期 | |
专利代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 |
代理人 | 王凌霄 |
专利描述 |
本发明涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板,其由多层不同材料组成,***外侧为载体,然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。载体为不锈钢板,护板为铝板,加热元件为镍铬丝加热元件。在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。本发明的有益效果是:该铸锭坩埚加热旋转台能使坩埚的每个区域都达到***佳的喷涂温度,提高喷涂质量,减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现,提高多晶硅锭的收益率。 |
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