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| 申请号 | 200810018845.8 |
申请日 | 2008.01.28 |
| 名称 | 太阳能电池扩散工艺及其设备 |
| 公开(公告)号 | CN101221999 |
公开(公告)日 | 2008.07.16 |
| 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
分案原申请号 | |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 颁证日 | |
优先权 | |
| 申请(专利权)人 | 常州天合光能有限公司 |
| 地址 | 213031江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |
| 发明(设计)人 | 马祥柱;单惠标;仝斌;许结刚 |
国际申请 | |
| 国际公布 | |
进入国家日期 | |
| 专利代理机构 | 常州市维益专利事务所 |
代理人 | 王凌霄 |
| 专利描述 |
本发明涉及一种太阳能电池加工技术领域，特别是一种太阳能电池扩散工 艺及其设备。本发明在太阳能电池扩散工艺中通过控制抽气排风压力，使抽气 排风压力这个参数保持稳定，抽气排风压力的稳定导致磷在硅片中的注入浓度 稳定，使加工后得到的硅片的方块电池保持稳定，在后道烧结中可以匹配出高 效的太阳能电池。抽气排风压力通过在机台排风端加装的排风压力控制阀和排 风压力控制器来进行控制。抽气排风压力稳定后，磷在硅片中的注入浓度稳定 后，方块电阻也随之稳定，可以提升***终的太阳能电池效率5％。 |
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